FACILITIES
Innovazione
Clean room per sensori e dispositivi
CRD – Camera bianca rivelatori al silicio
La camera bianca dedicata ai rivelatori al silicio si estende su 700 m² ed è classificata ISO 4-5. È
dotata di un allineatore a maschera a doppia faccia e di un sistema stepper che consente una larghezza minima di linea di 500 nm. Elabora fette da 150 mm ed è principalmente dedicata alla realizzazione di sensori di radiazione e dispositivi per la fotonica integrata. Per garantire l’elevato standard qualitativo e l’efficienza produttiva, vengono applicate rigide normative in materia di contaminazione, inclusi vincoli su scambio di fette con altri laboratori, materiali e processi ammessi.
Camera bianca MEMS e NEMS
La camera bianca per dispositivi MEMS e NEMS copre una superficie di 500 m² ed è classificata ISO 5-6. È dotata di un allineatore a maschera monofacciale con una risoluzione minima di 2,5 µm. Si tratta di una struttura a uso generale, caratterizzata da una maggiore flessibilità nella gestione dei materiali impiegati.
CRP – Camera bianca per confezionamento e integrazione
La camera bianca per il confezionamento e l’integrazione occupa una superficie di 60 m² ed è classificata ISO 6. Dispone di un sistema di pick & place manuale ad alta precisione e di una saldatrice per l’assemblaggio dei prototipi.
CR3D – Camera bianca per integrazione 3D
La camera bianca per l’integrazione 3D occupa 180 m² ed è classificata ISO 4/5. È dotata di una linea completa di sistemi per la lavorazione di sensori retroilluminati e per l’integrazione verticale, che include tecnologie per l’incollaggio di wafer (permanente e temporaneo), il distacco (debonding), le interconnessioni TSV, nonché la rettifica e lucidatura dei wafer.
Laboratori e strutture di test per le energie sostenibili
Laboratorio Batterie
Laboratorio dedicato al collaudo elettrochimico di prototipi di batterie di nuova generazione.
Laboratorio Idrogeno
Laboratorio dedicato al collaudo elettrochimico e meccanico di prototipi per la produzione di idrogeno
Laboratorio Materiali Avanzati
Laboratorio per lo sviluppo di strati sottili, materiali nanostrutturati e nuovi processi per la conversione energetica.
Laboratorio Chimico
Laboratorio per la caratterizzazione delle proprietà fisiche e chimiche di nuovi materiali.
